文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-HK-026
分類 成膜・膜堆積 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
設備名 EB加熱・抵抗加熱蒸着装置
(EB gun/resistant heating-type vacuume evaporation system)
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
仕様

アルバック社製:EBX-8C
    蒸着源:EB4元・抵抗加熱2元
    蒸着材料:Ti, Au, Al, Pd, Co等

F-HK-026

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