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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-HK-017
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡
(Field emission scanning electron microscope )
地域 北海道
設置機関 北海道大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 ナノテク連携研究推進室
仕様

日本電子社製:JSM-6700FT
    EDS機能、2探針マイクロプローブ装備
    試料サイズ:小片~25mm角

F-HK-017

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