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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-GA-336
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 レーザー式非接触三次元形状測定器
(Laser non-contact three-dimensional shape measuring system)
地域 四国
設置機関 香川大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

三鷹光器社製
    レーザー式三次元形状計測器
    NH-3N
    測定分解能:XYZ=0.1×0.1×0.01μm

F-GA-336

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