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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-GA-335
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 白色干渉式非接触三次元形状測定器
(White light interference type non-contact three-dimensional shape measuring system)
地域 四国
設置機関 香川大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

ブルカー・エイエックスエス社製
    白色干渉式三次元形状測定器
    NT91001A-in motion
    in-situ駆動観察

F-GA-335

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