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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-GA-334
分類 走査電子顕微鏡 > 低真空走査電子顕微鏡
表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
設備名 走査電子顕微鏡(EDS付き)
(Electron scanning microscope (EDS))
地域 四国
設置機関 香川大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

JEOL社製走査電子顕微鏡(EDS付き)
    JSM-6060-EDS
    加速電圧:30kV、EDS元素分析

JEOL社製イオンコータ
    JFC-1600

F-GA-334

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