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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-GA-329
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
バルク分析装置 > 電気・磁気特性測定
設備名 電子測定器
(Electronic measuring system)
地域 四国
設置機関 香川大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

カール・ズース社製ウェハプローバ
    PM5
    対応基板サイズ:直径1インチ~150mm
    X・Y移動範囲(粗動):最大150mm×150mm
    X・Y移動範囲(微動):10mm×10mm
    Θ調整範囲:360°
    高さ調整範囲:10mm
    顕微鏡X・Y移動範囲:50mm×50mm
  
エヌピイエス(株) 4深針型薄膜抵抗率計
    KS-TC-40-SB-VR
    測定方式:直流4探針法
    測定対象:拡散層
    測定範囲:
   抵抗率:1mΩ・cm~500kΩ・cm
   抵抗:1mΩ~500kΩ
   シート抵抗:1mΩ/□~500kΩ/□
    測定精度:±0.2%
    測定時間:約1秒

F-GA-329 F-GA-329

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