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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-GA-324
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 触針式表面形状測定器
(Stylus-type surface shape measuring system)
地域 四国
設置機関 香川大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者
仕様

1アルバック社製  触針式表面形状測定器

  • Dektak8
  • 垂直分解能/レンジ:1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620kÅ
  • サンプルサイズ:直径210mm
  • 測定長さ:50μm〜50mm
  • 最大サンプリング数:30,000点
  • 測定加重:1〜15mg
  • 自動多点測定数:最高200点
  • サンプル観察:
    トップビュー(低倍率カラー)10mm
    サイドビュー(高倍率カラー)1mm
F-GA-324 F-GA-324

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