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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-FA-383
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 組立測定装置群
(Semiconductor Device Analyzer)
地域 九州・沖縄
設置機関 北九州産業学術推進機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 半導体・エレクトロニクス技術センター
安藤秀幸
仕様

28.デバイスアナライザ
【キーエンス:B1500A】
素子の電気特性測定、マルチ周波数容量測定
測定範囲:±200V±1A
測定分解能:0.5μV/1fA

F-FA-383

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