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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-FA-381
分類 シミュレーション CAD > CAD
設備名 リソグラフィ装置群
(Electronic Design Automation Tools)
地域 九州・沖縄
設置機関 北九州産業学術推進機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 半導体・エレクトロニクス技術センター
安藤秀幸
仕様

22.EDAツール
【Tanner:Tanner Tools Pro】
IC, MEMS用データ設計
フォトマスク描画用データ出力構成:
 L-Edi(t レイアウトエディタ)
 S-Edi(t 回路図エディタ)
 T-Spice(回路シミュレータ)
 W-Edit (波形表示ツール)
検証:DRC, LVS, SDL
入出力形式:ストリーム形式

F-FA-381

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