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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-FA-380
分類 膜加工・エッチング > ウエット/ガスエッチング,洗浄
設備名 リソグラフィ装置群
(Draft Chamber)
地域 九州・沖縄
設置機関 北九州産業学術推進機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 半導体・エレクトロニクス技術センター
竹内修三
仕様

21.ドラフトチャンバー
【ドラフトチャンバー(現像処理用局所排気装置)】
フォトレジストの現像処理
処理枚数:1枚
薬品:現像液、リンス液、剥離液、停止液、定着液等
対応試料:不定形~4"Φ

F-FA-380

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