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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-FA-374
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 組立測定装置群
(Digital Microscope)
地域 九州・沖縄
設置機関 北九州産業学術推進機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 半導体・エレクトロニクス技術センター
竹内修三
仕様

29.デジタルマイクロスコープ
【KEYENCE製:VHX-2000】
試料の外観観察,寸法測定
観察倍率:×20~×200
     ×250~×2500
光源:12V 100W ハロゲンランプ
二次元計測, 三次元計測機能
深度合成機能
広域画像連結機能
動画撮影再生機能
電動XYステージ

F-FA-374

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