文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-FA-373
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 ケミカルプロセス装置群
(Laser Microscope)
地域 九州・沖縄
設置機関 北九州産業学術推進機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 半導体・エレクトロニクス技術センター
竹内修三
仕様

9.レーザーマイクロスコープ
【KEYENCE製:VK-X210】 
試料の外観観察,寸法測定
観察倍率:×200~×3000
光学ズーム:1~8倍
総合倍率:×200~×24000
測定用レーザー光源:
バイオレットレーザー 408nm
高解像度(16bitレーザー)観察
非破壊形状測定
電動XYステージ

F-FA-373

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)