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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-FA-370
分類 切削、研磨、接合 > ダイシング、スクライバ
設備名 組立測定装置群
(Dicer)
地域 九州・沖縄
設置機関 北九州産業学術推進機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 半導体・エレクトロニクス技術センター
竹内修三
仕様

24.ダイシングソー
【DISCO:DAD322】
Siウェハ及び難切削材ワークのダイシング
対応試料:2”Φ~6”Φ
最大対応ブレード径:58㎜Φ
スピンドル回転範囲:3000~40000r.p.m

F-FA-370

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