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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-FA-369
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 組立測定装置群
(Resistivity Four-Point Prober)
地域 九州・沖縄
設置機関 北九州産業学術推進機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 半導体・エレクトロニクス技術センター
安藤秀幸
仕様

17.比抵抗測定器
【国際電気:VR-30B】
抵抗率,シート抵抗等の測定
対応試料:~4”Φ
四探針式測定
オート,マニュアル選択可

F-FA-369

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