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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-FA-368
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
設備名 組立測定装置群
(Scanning Electro Microscope)
地域 九州・沖縄
設置機関 北九州産業学術推進機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 半導体・エレクトロニクス技術センター
竹内修三
仕様

23.走査型電子顕微鏡
【日立製作所:S-3400N+EDX】
反射電子,二次電子検出による試料外観,断面の観察
対応試料:~8”Φ
倍率:x5~x300,000
加速電圧:0.3~30kV
分解能:3nm~

F-FA-368

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