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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-FA-354
分類 合成、熱処理、ドーピング > 酸化、拡散、イオン注入
設備名 ケミカルプロセス装置群
(Ion Implanter)
地域 九州・沖縄
設置機関 北九州産業学術推進機構
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 半導体・エレクトロニクス技術センター
安藤秀幸
仕様

1.イオン注入装置
【ULVAC:IMX-3500】
B(ボロン),P(リン),Ar(アルゴン)のイオン注入
加速電圧:30~200kV
ドーズ量:1E12~1E16/cm2
対応試料:~4”Φ

F-FA-354

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