文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-BA-098
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
設備名 走査型プローブ顕微鏡群
(Scanning Probe Microscope)
地域 関東
設置機関 筑波大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 数理物質エリア支援室 加藤一郎
数理物質エリア支援室 手塚陽子
数理物質エリア支援室 桑原海鷹
仕様

Multimode8/Bruker社
・ 高分解能, 小型試料対応
・ 最大試料サイズ:15 mm diameter x 5 mm thick

Dimension Icon/Bruker社
・ 高分解能, 大型試料対応
・ 最大スキャン範囲:90 µm×10 µm

F-BA-098

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