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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-BA-096
分類 成膜・膜堆積 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
設備名 電子線蒸着装置
(Electron Beam Evaporator)
地域 関東
設置機関 筑波大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 数理物質エリア支援室 加藤一郎
数理物質エリア支援室 手塚陽子
数理物質エリア支援室 桑原海鷹
仕様

EB-350T/エイコー社
・ 到達圧力:1.0×10-6 Pa以下
・ 蒸発源:5 kW 5連EBガン
・ ルツボ容量:5 cc
・ 基板ホルダー:φ3インチ

F-BA-096

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