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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-BA-094
分類 膜加工・エッチング > 集束イオンビーム加工
形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
試料作製装置 > 集束イオンビーム(FIB)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 FIB-SEM
(Focused Ion beam - Scanning Electron Microscope)
地域 関東
設置機関 筑波大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 数理エリア支援室 中島清美
数理物質系 渡辺英一郎
仕様

Helios NanoLab 600i/FEI社
・加速電圧:1-30 kV(電子ビーム)
        0.5-30 kV(イオンビーム)
・デポジション用ガス:C, Ptガス

F-BA-094

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