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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-BA-091
分類 シミュレーション CAD > デバイスシミュレータ
設備名 デバイスシミュレータ
(Device Simulator)
地域 関東
設置機関 筑波大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 数理物質エリア支援室 加藤一郎
数理物質エリア支援室 手塚陽子
数理物質エリア支援室 桑原海鷹
仕様

ATHENAおよびATLAS(フルパッケージ)/SILVACO社
・ 2次元プロセスシミュレーター
・ 2次元シリコン・デバイスシミュレーター
・ 2次元先端材料・デバイスシミュレーター
・ 3次元シリコン/先端材料・デバイスシミュレーター

F-BA-091

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