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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-BA-105
分類 形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
設備名 触針式表面形状測定器
(Stylus Profilemeter)
地域 関東
設置機関 筑波大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 数理物質エリア支援室 加藤一郎
数理物質エリア支援室 手塚陽子
数理物質エリア支援室 桑原海鷹
仕様

ULVAC社製 Dektak 3ST

  • 測定段差幅;10~131nm
  • 測定分解能;0.1nm/6.5μm,1nm/65.5μm,2nm/131μm
  • 測定長;50μm~50mm
  • 観察倍率;35倍、200倍
  • サンプルサイズ;150mm

 

F-BA-105

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