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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-BA-104
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 半導体特性評価システム
(Electrical Measurement System)
地域 関東
設置機関 筑波大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 数理物質エリア支援室 加藤一郎
数理物質エリア支援室 手塚陽子
数理物質エリア支援室 桑原海鷹
仕様

Agilent社製B1500A

半導体デバイス・アナライザは、IV測定、CV測定、高速パルスドIV測定に対応。
IV測定範囲;0.1fA~1A/0.5μV~200V  タイムサンプリング;100μs  パルス最小測定幅;100μs(MCSMU)
容量測定  周波数範囲;1kHz~5MHz
パルスド測定  波形生成分解能;10ns  測定分解能;5ns

 

F-BA-104

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