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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-BA-103
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 液滴吐出型描画装置
設備名 インクジェットパターン生成装置
(Inkjet Printer)
地域 関東
設置機関 筑波大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 数理物質エリア支援室 加藤一郎
数理物質エリア支援室 手塚陽子
数理物質エリア支援室 桑原海鷹
仕様

STO50-TBD01/SIJテクノロジー社

  • 最小吐出量;0.1fl
  • 最小ライン;0.6μm
  • 分解能;0.1μm
  • 位置精度;±0.2μm
F-BA-103

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