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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-BA-100
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
設備名 電界放出形走査型電子顕微鏡
(Field-Emission Scanning Electron Microscope)
地域 関東
設置機関 筑波大学
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 数理物質エリア支援室 加藤一郎
数理物質エリア支援室 手塚陽子
数理物質エリア支援室 桑原海鷹
仕様

SU-8020/日立ハイテク社
二次電子分解能;1.0nm(加速電圧15kV,WD=4mm) 1.3nm(照射電圧1kV,WD=1.5mm)
照射電圧;0.1~30kV
低倍率モード;20~2,000倍(写真倍率)
高倍率モード;100~800,000倍(写真倍率)
SE/BSE信号可変方式

F-BA-100

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