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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-098
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 短波長レーザー顕微鏡〔OLS-4100〕
(Laser Microscope〔OLS-4100〕)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

 非接触でサンプルの3次元表面形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。複雑な微細形状の測定に優れ、斜面の観察性に優れています。電動ステージを搭載し、XY軸の移動精度が高いことが特徴です。また、マッピング機能が付いてるので、従来より速く広い範囲の画像取得ができるようになりました。透明膜対応フィルターにより、透明膜の測定にも有効です。

〇型番:OLS4100

〇倍率:最大17280倍

〇高さ測定範囲:10mm

〇XYステージ:100mm×100mm電動ステージ

〇表示分解能:0.001μm

〇フレームピクセル数:4096×4096

〇光学ズーム:1x~8x

〇測定:レーザー光波長405nm、最大出力1mW

〇微分干渉ユニット:微分干渉スライダ:U-DICR、偏光板ユニット内蔵

F-AT-098

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