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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-096
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 ナノプローバー
(Nanoprober system)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

日立ハイテクノロジー社製N6000型

・プローブユニット
ユニット数:6本(探針数)
微動範囲:5um(X,Y軸)
粗動範囲:5mm(X,Y軸)
駆動方式:ピエゾ素子使用

・試料ステージ
試料サイズ:15mm×15mm、厚さ1mm以下
可動範囲:15mm×15mm以上
加熱・冷却機能付

・電子光学系
電子銃:冷陰極電界放出型電子顕微鏡
加速電圧:0.5~5kV (※EBACモード:最大30kV)
イメージシフト:±100um以上(2kV、WD=15mm)

・デバイスアナライザ
型式:B1500(Agilent製)
モジュール:B1520A MFCMU [1KHz~5MHz CV機能]
B1517A HRSMU [100mA/42V 電流/電圧出力、1fA/0.5uV電流/電圧測定分解能]

・付加機能
EBAC(Electron Beam Absorbed Current)

半導体デバイスの配線・電極に直接プローブを接触させ、トランジスタの電気特性を評価するプローバです。冷陰極電界放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM)搭載のため、高倍率観察下でのプロービングが可能です。またプローブユニットは6本対応となっており、様々な測定ニーズに合わせて使用出ます。

F-AT-096

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