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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-087
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 デバイスパラメータ評価装置
(Semiconductor Device Parameter Analyzer )
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

アジレントテクノロジー社製4156C型

測定分解能: 1fA(±10pAレンジ)
φ150×10mm以下の各種試料

プローバーシステムと半導体パラメータアナライザから構成されており、ダイオードやFETなど様々なデバイスの電気伝導特性の評価を行うことがでる。

  • 最小電流レンジと測定分解能: 
     ±10 pAレンジ(電圧 0~±100 V)⇒ 1 fA
  • 最大電流レンジと測定分解能:
      ±100 mAレンジ(電圧 0~±20 V)⇒ 100 nA
  • 最小電圧レンジと測定分解能: 
     ±2 Vレンジ(電流 0~±100 mA)⇒ 2 µV
  • 最大電圧レンジと測定分解能: 
     ±100 Vレンジ(電流 0~±20 mA)⇒ 100 µV
F-AT-087

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