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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-085
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 電界放出形走査電子顕微鏡
(Field Emission Scanning Electron Microscope; FE-SEM)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

日立ハイテクノロジー社製、S4800II型
  麗陰極電界放出型電子銃
  加速電圧0.5kV~30kV
  倍率20倍~800k倍
  分解能1.0nm(加速電圧15kV)
  2次電子検出器(2系統)と透過電子検出器
  2次電子像と反射電子像及びS-TEM像が観察できる、
  試料ステージは5軸モーター制御、試料寸法φ150mm以内

F-AT-085

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