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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-084
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
分光 > ラマン分光
バルク分析装置 > 元素・組成分析
設備名 顕微レーザーラマン分光装置
(Laser Micro Raman Spectrometer)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

Thermo Fisher Scientific社製  DXR-Raman型

サンプルにレーザーを照射し、得られるラマン効果を利用して、試料の分子構造や未知物質の同定を非破壊で行う装置です。コンフォーカル機能を搭載した光学顕微鏡システムとの組み合わせにより、高分解能な微小領域解析が可能となっています。また、励起レーザー、フィルター、グレーティングがスマートコンポーネントになっており、2種類の励起レーザーの変更が容易に行えます。またXYオートステージ搭載により、ラマンマッピングが可能です。

  • レーザー:532nm(高輝度DPSS)、780nm(高輝度ダイオード)
  • 測定波長範囲:50-3300cm-1
  • スペクトル分解能: 
     フルレンジグレーティング;5 cm-1
     高分解能グレーティング;3 cm-1
  • 繰返し再現性:0.01cm-1程度
  • 最高空間分解能:φ1um[使用レーザーの回折限界による]
  • コンフォーカルによる深さ分解能:2um~
  • XYオートステージ機能搭載
F-AT-084

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