文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-083
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
設備名 走査プローブ顕微鏡
(Scanning Probe Microscope)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

島津製作所製  SPM-9700型
試料表面を微小な探針で走査し、表面の三次元形状をスピーディに観察する装置です。
分かり易いインターフェイスの採用やソフトウェアの自動化機能により、SPM初心者の方でも容易に測定が可能です。

  • 試料最大形状:φ24mm×8mm
  • 試料固定:マグネットによる固定
  • スキャナ走査範囲:125um×125um×7um
  • 分解能:水平 0.2nm、垂直 0.01nm
  • 測定モード:ダイナミック、コンタクト、位相、電流、表面電位(KFM)
F-AT-083

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