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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-082
分類 形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 ナノサーチ顕微鏡
(Nano Search Microscope)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

島津製作所製 SFT_3500型

光学顕微鏡と、レーザ顕微鏡(LSM: Laser Scanning Microscope)、走査型プローブ顕微鏡(SPM: Scanning Probe Microscope)の3機能が1台の顕微鏡に搭載された複合型顕微鏡です。数十倍~百万倍以上の超ワイドレンジでの観察を行うことが可能です。搭載の機能を組み合わせることで、SPM単体では困難であった視野探しを試料を載せかえずに正確かつスピーディに行うことができます。

  • LSM部
    観察視野:2,560μm~21μm
    対物レンズ:5×,20×,100× (光学ズーム 1×~6×)
  • SPM部
    最大走査範囲:水平(X,Y)30μm, 垂直(Z)4μm
    垂直分解能:0.1nm程度
    検出方式:光てこ方式
    測定モード:ダイナミックモード(タッピングモード)、コンタクトモード、位相モード、表面電位モード[KFM]、電流モード
  • 共通部
    ステージストローク:100×100mm
    試料最大高さ:54.5mm
F-AT-082

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