文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-081
分類 表面分析装置 > エネルギー分散型蛍光X線分光(EDS)
バルク分析装置 > 元素・組成分析
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
表面分析装置 > その他表面分析
設備名 微小部蛍光X線分析装置
(Microscopic Fluorescent X-Ray Analyzer)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

SEA_5210A
微小領域エネルギ分散型
上面照射方式
  分析元素:Na~U
  試料形態:固形、薄膜(液及び粉は要許可)
  サイズ:最大  □80×35mm
  コリメータ:φ0.1,1,2.5mm
  雰囲気:大気、真空
  ソフトウエア:定性分析、定量分析(FP法、検量線法)、薄膜分析(膜厚、組成)、元素マッピング    

F-AT-081

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