文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-080
分類 表面分析装置 > X線回折(XRD)
バルク分析装置 > X線回折法(XRD)
形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
形状・形態観察、分析 > 膜厚・段差・粗さ測定
表面分析装置 > その他表面分析
X 線回折 > 粉末・薄膜 X 線回折(XRD)
設備名 X線回折装置
(X-ray Diffractometer)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

リガク製  Ultima_III 
  試料水平型
  インプレーン測定機構付
  傾斜多層膜放物面モノクロメータ付
  チャンネルカットモノクロメータ
  受光モノクロメータ
  6試料交換装置
  小角散乱光学系等の利用可
  試料形態:薄膜、粉
  薄膜試料:最大  φ100×9mm
  ソフトウエア:定性分析、定量分析、反射率、極点、逆格子マップ、
                  結晶子サイズ、結晶粒サイズ、結晶化度等

F-AT-080

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