文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-079
分類 切削、研磨、接合 > ダイシング、スクライバ
設備名 ダイシングソー
(Dicing Saw)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

Disco社製  DAD522型

切断は円形の刃(ブレード)を高速回転させて加工します。
この装置では、多段カットも可能です。
ブレードを交換することで6インチφまでのガラス・サファイアなどのSi以外の薄板も切断できます。

F-AT-079

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)