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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-072
分類 膜加工・エッチング > ドライエッチング(その他)
設備名 アルゴンミリング装置
(Argon-Ion Milling System)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

伯東社製  イオンビームミリング装置

イオンガンで発生させたArイオンビームを試料に照射することで、エッチングを行います。反応性イオンエッチング(RIE)装置などに比べ、雰囲気が一桁低い圧力(10^-2 Pa台)でエッチングの処理が行えます。

  • 型式:3-IBE
  • ビーム直径: Φ3 cm 
  • ビーム加速電圧:500, 300 V 
  • イオン電流密度:1 cm2あたり1 mA(但し、入射角度0°の時)
  • 試料室の真空度: ~3×10-2 Pa 
  • 試料サイズ:Φ75 mm までの試料
F-AT-072

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