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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-067
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > 光露光(ステッパ)
設備名 i線露光装置
(i-Line Stepper)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

(株)ニコンテック社製 NSR-2205i12D
最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載したi線縮小投影型露光装置。投影レンズはN.A.可変システムを採用しており、実際のプロセス条件に応じて0.50~ 0.63の間で最適なN.A.を選択することが可能。そのほか特殊ステージを備えており、Φ2,3,4,6,8インチ(それぞれOFタイプ)ウェハ、矩形20mm,18mm,15mm,10mmの切り出しチップへの露光が可能。

  • 露光光源:i線(波長365 nm)
  • 解像度:350 nm以下 
  • 最大N.A.:0.63 
  • 縮小倍率:5分の1倍 
  • 露光範囲:φ22 mm(ウェハ上)
  • レチクル:6インチ石英ガラス 
  • 総合アライメント精度:55 nm以下
F-AT-067

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