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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-134
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 電界放出型走査電子顕微鏡
表面分析装置 > 走査型電子顕微鏡
設備名 電界放出形走査電子顕微鏡 [S4500_FE-SEM]
(Field Emission SEM (HITACHI S-4500))
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

細く絞った電子線による試料表面の走査によって対象物から放出される二次電子信号を検出することで、表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示し、微細加工部の形状などを観察・評価します。特殊な電子銃により電子線を試料表面で細く収束し、非常に微細な構造を表示できます。試料を傾けることにより、三次元形状を把握することも可能です。
●型式:S-4500
●電子銃:冷陰極電界放出型電子銃 
●加速電圧:0.5~30 kV 
●分解能:1.5 nm (加速電圧15 kV, WD = 4 mm)
●試料ステージ制御:5軸モーター制御 
●可動範囲:X,Y:0~25 mm、Y:0~25 mm、Z:3~28 mm、R:360°、T:-5~45°
●試料サイズ:~50 mmΦ 
●検出器:2次電子検出器(2系統)、エネルギー分散型X線検出器

F-AT-134

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