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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-130
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 四探針プローブ抵抗測定装置
(Four Point Probe Resistance Measurement System)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

4探針プローブ (プローブは試料に応じて交換して使用する)
型式 K-89PS40μR, K-89PS150μR
材質 タングステンカーバイト
針間 1mm
針先R 40μmR, 150μmR
針圧 約800g, 約200g
測定架台
最大試料寸法: 135mm□
Z軸移動 40mm ラックピニオン式
針圧調整 ウエイト加減方式
デジタルソースメータ(抜粋)
最大印加電圧 ±210V, 電流 ±1.05A(MAX 21V), ±1.05mA(MAX 210V)
最小設定分解能 5μV(200mVレンジ), 50 pA(1μAレンジ)

※シート抵抗測定時は、2つの探針に定電流を流し、他の2つの探針に生じる電圧を計測し、V/I×係数 でシート抵抗を求めます。薄膜用(150μmR)とバルク(40μmR)の専用プローブがあります。自動計測プログラムを用いると定電流の極性を変えて電圧計測オフセットをキャンセルしながら計測しながら電流を自動スキャンするため簡単に有効な測定結果が得られる電流を見つけることができます。

(取得年月日:2005/10/31, 2013/06/11, 2007/11/26)

F-AT-130

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