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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-128
分類 切削、研磨、接合 > ダイシング、スクライバ
設備名 クロスセクションポリッシャ(ALD付帯)
(Cross Section Polisher (ALD))
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

日立ハイテクノロジーズ社製 IM4000[断面ミリングオプション]型

イオンガン(アルゴンビーム照射)と高イオンビーム耐性マスク(金属板)を使用して、走査型電子顕微鏡(SEM)等による試料内部構造の観察や分析のための断面試料を作製することができます。劈開や研磨では加工が難しいような、硬度やミリングレートが異なる構成の複合

材料でも可能となります。また、専用治具へ交換することでフラットミリングを行うこともできます。

 

イオンガン:冷陰極ペニング型

使用ガス:アルゴン

加速電圧:1~6kV

放電電圧:1.5kV

断面ミリングレート:100~300µm/h (加速電圧6kV時) ※材料により異なる

断面ミリングの最大試料サイズ:20mm(W)×12mm(D)×7mm(H)

スイング角度:OFF~±40°

F-AT-128

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