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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-125
分類 膜加工・エッチング > ウエット/ガスエッチング,洗浄
設備名 オゾンクリーナー
(Ultraviolet Ozone Cleaner)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

短波長紫外線で固体の表面改質・乾式洗浄を行うクリーナーです。二種類の短波長紫外線(185、254nm)により空気中の酸素をオゾン化し有機物を除去します。サンプル表面へのダメージは極めて少なく、良好な表面が得られます。光源は手動による可変タイプのため、表面分析の前処理をin-situ(測定前室)で行うことが可能です。
※一般実験室(非クリーンルーム)でのご利用となります。

  • 電源:AC100V 50/60Hz
  • ランプ:110W低圧水銀ランプ
  • ランプ波長:185nm、254nm
  • 照射距離:ランプ下面より0〜80mm(手動可変タイプ)
  • 照射エリア:150×150mm
  • オゾン排気構造:別置きブロワーによる強制排気方式(オゾン吸着材封入)
F-AT-125

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