文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-122
分類 形状・形態観察、分析 > 走査電子顕微鏡(SEM)
走査電子顕微鏡 > 低真空走査電子顕微鏡
設備名 低真空走査電子顕微鏡
(Environmental Scanning Electron Microscope)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

低真空モードにおいて、熱電子線源から生じた電子線を試料に照射し、試料表面から反射した電子線を画像データとして読み込み、表面形状を観察します。このモードでの真空度は1~270 Paで、分解能は5.0 nmです。高真空モードにおいては試料表面から発生した2次電子の発生量を輝度の信号に変換することでその表面形状を観察します。到達真空度は0.0015 Paで、分解能は3 nmです。

  • 型式:S-3500N(日立ハイテク)
  • 電子銃:熱電子放出型Wヘアピンフィラメント 
  • 加速電圧:0.3~30 kV
  • 分解能:高真空二次電子像:3.0 nm 
  • 低真空反射電子像:5 nm 
  • 試料サイズ:15~150 mmΦ 
  • 低真空モードでの真空度設定:1~270 Pa 
  • 試料ステージ:五軸モーター駆動 
  • 可動範囲:100 mm×50 mm
F-AT-122

この設備に関するお問い合わせ先

本研究設備の詳細や利用方法等は、問い合わせフォームよりお問い合わせください。

設置機関Webサイト 設置機関Webサイト   この設備について問い合わせる この設備について問い合わせる(設置機関への問い合わせフォーム)