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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-121
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 短波長レーザー顕微鏡(VK-9700)
(Laser Scanning Microscope)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

観察対象物に対して前処理が一切不要で、そのままの状態での観察・測定が可能です。観察視野全てに焦点が合った超深度画像での観察が可能で、短波長レーザと白色光源を併用することで、高解像度と色情報を両立した高精細リアルカラー超深度画像での観察が可能です。非接触なので様々な対象物に対応するうえ、観察視野全域の3次元データをレーザで取得し、高精度で多彩な3次元解析が可能です。

  • 型式:VK-9700 Generation II(キーエンス社製)
  • 倍率:最大18000倍 
  • 分解能:1 nm(Z方向、高さ)
  • 高さ測定範囲:7 mm 
  • 表示分解能:0.001 μm 
  • 幅測定表示分解能:0.001 μm 
  • フレームピクセル数:2048×1536 
  • モノクロ映像:14 bit 
  • カラー映像:RGB各8 bit、高さ測定用:24 bit 
  • 光学ズーム:1x~6x 
  • 測定:レーザ光波長408 nm、最大出力0.9 mW、受光:光電子増倍管 
  • 観測:100 Wハロゲン光源 
  • 撮像素子:カラーCCDイメージセンサ
F-AT-121

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