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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-120
分類 走査型プローブ顕微鏡 > 原子間力顕微鏡
形状・形態観察、分析 > 走査プローブ顕微鏡(SPM)
設備名 大型試料対応走査プローブ顕微鏡
(Scanning Probe Microscope)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

この装置では、原子間力顕微鏡(AFM)、磁気力顕微鏡(MFM)測定が可能です。AFMは、基板表面をプローブ探針で走査することにより、表面にある凹凸の変位をピエゾ素子で表面形状の変化として測定します。試料の電気伝導性は絶縁体、半導体、良導体に依らず計測が可能で、計測面範囲は90 μm×90 μmで、高さは6 μm以内です。MFMは探針と試料との間に働く磁気力を検出して、表面の磁気的特性を調べる事ができます。

  • 型式:DI 3100(Veeco社製)
  • 試料寸法:150 mm以内(面範囲)、12 mm(高さ範囲) 
  • 試料固定:真空固定、測定範囲:90 μm×90 μm(面範囲)、6 μm以内(高さ範囲) 
  • 測定精度:最大2%(最大レンジ幅)
F-AT-120

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