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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-117
分類 形状・形態観察、分析 > 分光(光、電子線、イオン線、プラズマ、磁気、X線)
設備名 顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR)
(Fourier Transform Infrared Spectrometer; FTIR)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

赤外分光法を利用し、試料の定性・定量解析を行うフーリエ変換装置です。レーザーラマン同様、コンフォーカル機能を搭載した光学顕微鏡システムとの組み合わせにより、高分解能な微小領域解析が可能となっています。またレーザーラマンとの相補的な評価により、より高度な定性分析が可能です。

  • 型式: Nicolet6700、Continuμm
  • 測定波長範囲:
     350-12500cm-1
     600-11700cm-1(顕微使用時)
  • 最高分解能:0.09cm-1
  • オートステージ機能搭載
F-AT-117

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