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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-116
分類 切削、研磨、接合 > ダイシング、スクライバ
設備名 研磨機
(Mechanical Polisher)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

走査型電子顕微鏡(SEM)や走査型プローブ顕微鏡の断面試料作製に利用できます。サンプルの樹脂包埋やサンプルに対してマイクロカッターを用い断面試料の作製を行うことができます。断面試料を研磨機で鏡面研磨して、SEM用断面試料を作製します。鏡面研磨後に、原子層堆積装置ミリング機能を合わせて利用する事でより平坦な断面を作製する事が可能です。

F-AT-116

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