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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-115
分類 形状・形態観察、分析 > 光学顕微鏡(一般、共焦点、レーザ)
設備名 レーザー顕微鏡
(Laser Scanning Microscope)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

この装置は、試料にレーザー光を当て、高さの違いにより生じる反射光量の変化から立体形状を測定します。CCDカメラで撮影した映像をテレビモニターで観察しながら測定します。視野範囲内の任意に指定した二点を結ぶ直線上の断面形状を求めるプロファイル測定を始めとした形状解析が可能です。また、専用の解析アプリケーションを使えば更に詳細な解析が可能です。

  • 型式:VK-8500 (キーエンス社製)
  • 測定用レーザー光源:He-Neレーザー
  • 試料ステージストローク:70 mm(x,y)、28 mm(Z) 
  • 高さ測定範囲:7 mm
  • 高さ方向最小測定分解能:0.01 μm
  • 高さ方向繰り返し測定精度:0.03 μm
F-AT-115

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