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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-110
分類 電気計測 > 電子材料・デバイス評価
設備名 デバイス容量評価装置
(Capacitance-Voltage (C-V) Analyzer)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

ケースレー社製Model 82-WIN、及び アジレントテクノロジーズ社製4284A LCRメータ

プローバーシステムとC-VメータやLCRメータから構成されており、電圧電流比から静電容量などの電気的特性を調べることができる。

  • Model 82-WIN: Quasistatic C-Vと高周波C-V(100kHz or 1MHz)の同時特性評価
  • 4284A LCRメータ: 低周波20Hz~高周波1MHzの主にC-V特性評価、及び 周波数変化時の容量であるC-F特性評価
F-AT-110

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