文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ! 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます。

研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-109
分類 膜加工・エッチング > ウエット/ガスエッチング,洗浄
設備名 スマートウォーターバス
(Water Bath)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様
  • 温度設定範囲:室温+5~80℃(加熱のみ) 
  • 水槽容量:約2.0l
  • 水槽内寸:214×159×78mm (W×L×H) 
  • センサー:K熱電対
  • 温度制御方式:PID制御・SSR出力 
  • ヒーター種類:マイカヒーター
  • ヒーター容量:400W
  • 材質:本体/ステンレス焼付塗装、水槽/ステンレス(SUS304)、フタ/PC(ポリカーボネート)
  • 安全装置:ヒーター断線・センサー断線・温度過昇防止スイッチ・過電流ブレーカー

主にレジスト剥離液の加温に使用します。攪拌機能はありません。

F-AT-109

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