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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-105
分類 切削、研磨、接合 > ダイシング、スクライバ
設備名 スクライバー
(Scriber)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

協和理研社製、最大3インチシリコンに対応。(GaAsは不可)

F-AT-105

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