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研究設備詳細情報

事業名 ナノテクノロジープラットフォーム
機器ID F-AT-103
分類 リソグラフィ・露光・描画装置 > レジスト塗布・現像装置
設備名 スピンコ―タ―
(Spin Coater)
地域 関東
設置機関 産業技術総合研究所
研究分野 微細加工
担当部署または担当者 共用施設ステーション
仕様

ミカサ製1H-DX2型  6インチまで

F-AT-103 F-AT-103

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